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Agilent 5529A雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

隨著精密機(jī)械零件的要求在繼續(xù)增加，Agilent 5529A動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)系統(tǒng)能幫助機(jī)床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機(jī)床制造商和用戶提供測(cè)量機(jī)床定位和精度的基本部件；用經(jīng)補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù)校準(zhǔn)機(jī)床的定位誤差；診斷幾何形狀問題；以及符合7種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的機(jī)床性能文檔。

您可用Agilent 5529A選擇全套校準(zhǔn)部件，包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預(yù)配置系統(tǒng)（不包括光纖）。

Agilent 5529B基本系統(tǒng)：包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。

Agilent 5529V Vectra系統(tǒng)：包括校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。

Agilent 5529U升級(jí)系統(tǒng)：包括校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、適配器電纜，您能從Agilent 5528A升級(jí)到Agilent 5529A。

特性：

l 專利Agilent激光管設(shè)計(jì)，性MTBF大于 50,000 小時(shí)

l 用戶友好的Windows軟件

l 文檔使用8種語言：英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語，以及簡(jiǎn)體和繁體漢語

l 符合7種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)： NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89

l 在線幫助

如果需要詳細(xì)的資料請(qǐng)發(fā)Email：xie_feng79@163.com

雙頻激光干涉儀ZLM700

產(chǎn)品功能定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。性能優(yōu)勢(shì)

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測(cè)量直線度），則僅采購(gòu)所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購(gòu)；若后期有其他功能的需求，補(bǔ)充采購(gòu)功能對(duì)應(yīng)的部件即可。

l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。

l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更。

l 采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。

l 被測(cè)物體最大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。

l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，請(qǐng)選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

工作原理

專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。

采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM700	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)最大輸出功率：	1mW （激光等級(jí)2）
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：	1
線性測(cè)量距離：	40m，可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍：	20m行程
直線度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
最大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
最大加速：	無限制
采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測(cè)量精度：	±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測(cè)量精度：	±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測(cè)量精度：	±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
垂直度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號(hào) 32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

應(yīng)用光路圖

以上為直線度測(cè)量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度

以上是平面度測(cè)量示意圖

以上是垂直度測(cè)量示意圖

以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測(cè)量示意圖

以上是對(duì)角測(cè)量示意圖

以上是俯仰角測(cè)量示意圖

以上是偏擺角測(cè)量示意圖

以上是滾動(dòng)角測(cè)量示意圖

以上是回轉(zhuǎn)臺(tái)定位精度測(cè)量示意圖

資料下載耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf激光干涉儀說明書（中文）.pdf

該公司產(chǎn)品分類：變送器/信號(hào)轉(zhuǎn)換器多通道溫度測(cè)量?jī)x 載波包絡(luò)相位檢測(cè)儀色散測(cè)量?jī)x 激光對(duì)中儀孔同軸度檢測(cè)儀激光平面度檢測(cè)儀激光幾何測(cè)量系統(tǒng) 激光平行度檢測(cè)儀雙頻激光干涉儀表面粗糙度輪廓儀

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