| 規格(mm) | 大理石平臺精度等級 | |||
| 000級平面度 | 00級平面度 | 0級平面度 | 1級平面度 | |
| 平面度公差(um) | ||||
| 300×300×70 | 1.5 | 3 | 5.5 | 11 |
| 300×400×70 | 1.5 | 3 | 6 | 12 |
| 400×400×70 | 2 | 3.5 | 6.5 | 13 |
| 400×500×100 | 2 | 3.5 | 7 | 14 |
| 400×600×100 | 2 | 3.5 | 7 | 14 |
| 400×630×100 | 2 | 3.5 | 7 | 14 |
| 450×600×100 | 2 | 3.5 | 7 | 14 |
| 500×600×100 | 2 | 3.5 | 7 | 14 |
| 500×800×100 | 2 | 4 | 8 | 16 |
| 600×900×100 | 2.5 | 4.5 | 9 | 18 |
| 600×900×130 | 2.5 | 4.5 | 9 | 18 |
| 1000×630×150 | 2.5 | 4.5 | 9 | 18 |
| 1000×750×150 | 2.5 | 4.5 | 9 | 18 |
| 1000×1000×150 | 2.5 | 5 | 10 | 20 |
| 1000×1500×200 | 2.9 | 5.7 | 11.3 | 22.6 |
| 1000×1600×200 | 3 | 6 | 12 | 24 |
| 1000×2000×200 | 3.5 | 6.5 | 13 | 26 |
| 1500×2000×200 | 3.5 | 7 | 14 | 28 |
| 1500×2000×300 | 3.5 | 7 | 14 | 28 |
| 1500×3000×300 | 3.5 | 7 | 14 | 28 |
| 2000×3000×300 | 4.5 | 8 | 18 | 36 |
| 2000×4000×400 | 5.5 | 11 | 22 | 44 |