| 機器型號 | Croma564 | Croma666 | Croma8106 | Croma8126 |
| 行程（mm） | 500 | 600 | 800 | 800 |
| 600 | 800 | 1000 | 1200 | |
| 400 | 600 | 600 | 600 | |
| 測量空間 | 634 | 734 | 934 | 934 |
| 144 | 144 | 144 | 144 | |
| 594 | 794 | 794 | 794 | |
| 平臺（mm） | 783 | 783 | 805 | 805 |
| 1155 | 1355 | 1555 | 1755 | |
| 支撐（mm） | 824 | 978 | 1178 | 1378 |
| 356 | 379 | 379 | 379 | |
| 外形尺寸（mm） | 1535 | 1735 | 1935 | 2135 |
| 1050 | 1150 | 1350 | 1350 | |
| 1050 | 1150 | 1350 | 1350 | |
| 承重（kg） | 300 | 300 | 500 | 500 |
| 機器重量（kg） | 590 | 730 | 1074 | 1196 |
| MPEe（μm） | 2.8*L/300 | 2.8*L/300 | 3.0*L/300 | 3.0*L/300 |
| MPEp（μm） | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 4 |
| 光柵尺分辨率（μm） | 0.078 | 0.078 | 0.078 | 0.078 |
| 空間移動速度（mm/s） | 520 | 520 | 520 | 520 |
| 空間移動速度（mm/s²） | 1730 | 1730 | 1730 | 1730 |
| 流量/供氣壓力 | 120 NI/min,0.45 Mpa | 120 NI/min,0.45 Mpa | 120 NI/min,0.45 Mpa | 120 NI/min,0.45 Mpa |