1.由于將X軸、Z軸加以數(shù)字化，所以不必完全仰賴于測(cè)定倍率的大小，即可做到大范圍的高分解能測(cè)定。
2.與計(jì)算機(jī)連接并加上計(jì)算機(jī)解析軟件「Formpak-1000」，即可做出各式各樣的測(cè)定與分析。
3.若不連接計(jì)算機(jī)，亦可連接XY繪圖機(jī)，并可在繪圖機(jī)專用的數(shù)據(jù)處理機(jī)上先行確認(rèn)圖形或量測(cè)方式是否正確。產(chǎn)品參數(shù)
| 測(cè)量范圍 | 50mm（CV-1000）或100mm（CV-2000） | ||
| 分辨率 | 0.2μm | ||
| 測(cè)量方法 | 反射型光柵尺 | ||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | 0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手動(dòng) | ||
| 測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s | ||
| 測(cè)量方向 | /向后 | ||
| 直線度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm（當(dāng)X軸在水平方向上 | ||
| 指示精度 （20℃） | ±（3.5+2L/100）μm L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm） | ||
| 傾斜范圍 | ±45°（CV-2000） | ||
| Z1軸 | 測(cè)量范圍 | 25mm（CV-100）或40mm（CV-2000） | |
| 分辨率 | 0.4μm（CV-1000系列） 0.5μm（CV-2000系列） | ||
| 測(cè)量方法 | 弧形編碼器 | ||
| 指示精度 （20℃） | ±（3.5+14H/25）μm） H為水平位置上的測(cè)量高度（mm） | ||
| 探針上下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動(dòng) | ||
| 探針?lè)较?/span> | 向下 | ||
| 測(cè)力 | 10-30mN | ||
| 跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
| 向下 | 87° | ||
| 探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
| 材料 | 硬質(zhì)合金針尖 | ||
| 基座尺寸（WxH） | 750x600mm（CV-2000） | ||
| 基座材料 | 花崗巖（CV-2000） | ||
| 重量 | 主機(jī) | 5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4） | |
| 控制裝置 | 14kg | ||
| 遙控箱 | 0.9kg | ||
| 電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
| 能耗 | 150W僅限主機(jī) | ||
型號(hào)CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8測(cè)量范圍X 軸100mm 200mmZ1 軸（檢測(cè)部） 60mm （水平位置±30mm）Z2 軸（立柱） 移動(dòng)量300mm 500mm 300mm 500mm檢測(cè)器（Z1 軸 : 檢測(cè)器）測(cè)量單元圓弧光柵尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm測(cè)針上/ 下運(yùn)作弧形移動(dòng)移動(dòng)方向向前/ 向后 雙方向測(cè)針?lè)较駽V-3200 系列 : 向上/ 向下（單獨(dú)測(cè)量）、CV-4500 系列 : 向上/ 向下（上下可連續(xù)測(cè)量）測(cè)力CV-3200 系列 : 30mN （根據(jù)配重調(diào)整）、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN （根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換）跟蹤角度向上77o、向下83o（根據(jù)表面粗糙度*1 使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針）驅(qū)動(dòng)部標(biāo)尺X 軸 激光全息光柵尺Z2 軸（立柱） ABS 光柵尺分辨率X 軸 0.05 μmZ2 軸（立柱） 1 μm驅(qū)動(dòng)速度X 軸0 ～ 80mm/s 外加手動(dòng)Z2 軸（立柱） 0 ～ 30mm/s 外加手動(dòng)測(cè)量速度X 軸 0.02 ～ 5mm/s直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm傾角范圍X 軸 ±45o指示精度（20oC）CV-3200系列X 軸 ±（0.8+0.01L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±（0.8+0.02L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸（檢測(cè)部） ±（1.6+ ?? 2H ?? /100）μm H= 為水平位置上的測(cè)量高度（mm）CV-4500系列X 軸 ±（0.8=0.01L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±（0.8=0.02L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸（檢測(cè)部） ±（0.8+ ?? 2H ?? /100）μm H= 為水平位置上的測(cè)量高度（mm）外觀尺寸（W×D×H）主機(jī)*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遙控箱221×344×490 mm遙控箱 248×102×62.2 mm重量主機(jī)140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遙控箱14kg遙控箱 0.9kg使用溫度范圍15 ～ 25oC （校正時(shí)和測(cè)量時(shí)的溫度變化在±1o）使用濕度范圍20 ～ 80%RH （無(wú)凝結(jié)狀態(tài)）保存溫度范圍-10 ～ 50oC保存濕度范圍5 ～ 90%RH （無(wú)凝結(jié)狀態(tài)）*1
型號(hào)CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8測(cè)量范圍X 軸100mm 200mmZ1 軸（檢測(cè)部） 60mm （水平位置±30mm）Z2 軸（立柱） 移動(dòng)量300mm 500mm 300mm 500mm檢測(cè)器（Z1 軸 : 檢測(cè)器）測(cè)量單元圓弧光柵尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm測(cè)針上/ 下運(yùn)作弧形移動(dòng)移動(dòng)方向向前/ 向后 雙方向測(cè)針?lè)较駽V-3200 系列 : 向上/ 向下（單獨(dú)測(cè)量）、CV-4500 系列 : 向上/ 向下（上下可連續(xù)測(cè)量）測(cè)力CV-3200 系列 : 30mN （根據(jù)配重調(diào)整）、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN （根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換）跟蹤角度向上77o、向下83o（根據(jù)表面粗糙度*1 使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針）驅(qū)動(dòng)部標(biāo)尺X 軸 激光全息光柵尺Z2 軸（立柱） ABS 光柵尺分辨率X 軸 0.05 μmZ2 軸（立柱） 1 μm驅(qū)動(dòng)速度X 軸0 ～ 80mm/s 外加手動(dòng)Z2 軸（立柱） 0 ～ 30mm/s 外加手動(dòng)測(cè)量速度X 軸 0.02 ～ 5mm/s直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm傾角范圍X 軸 ±45o指示精度（20oC）CV-3200系列X 軸 ±（0.8+0.01L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±（0.8+0.02L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸（檢測(cè)部） ±（1.6+ ?? 2H ?? /100）μm H= 為水平位置上的測(cè)量高度（mm）CV-4500系列X 軸 ±（0.8=0.01L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±（0.8=0.02L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸（檢測(cè)部） ±（0.8+ ?? 2H ?? /100）μm H= 為水平位置上的測(cè)量高度（mm）外觀尺寸（W×D×H）主機(jī)*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遙控箱221×344×490 mm遙控箱 248×102×62.2 mm重量主機(jī)140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遙控箱14kg遙控箱 0.9kg使用溫度范圍15 ～ 25oC （校正時(shí)和測(cè)量時(shí)的溫度變化在±1o）使用濕度范圍20 ～ 80%RH （無(wú)凝結(jié)狀態(tài)）保存溫度范圍-10 ～ 50oC保存濕度范圍5 ～ 90%RH （無(wú)凝結(jié)狀態(tài)）*1
三豐輪廓儀CV-1000技術(shù)參數(shù)
X1軸
測(cè)量范圍: 50mm
分辨率: 0.2μm
測(cè)量方法:反射型光柵尺
驅(qū)動(dòng)速度: 0.2, 1mm/s和手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.2, 0.5mm/s
測(cè)量方向:向后
直線度: 3.5μm/50mm , *當(dāng)X軸在水平方向上
指示精度:±（3.5+2L/100）μm * L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）
Z1軸（檢測(cè)器）
測(cè)量范圍: 25mm
分辨率: 0.4μm
測(cè)量方法:弧形編碼器
指示精度:±（3.5+I4HI/25）μm （20°C時(shí)） *H為水平位置上的測(cè)量高度（mm）
探針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動(dòng)
探針?lè)较?/span>:向下
測(cè)力: 10 - 30mN
跟蹤角度:向上：77°、向下：87°（根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面探針）
探針針尖半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
重量: 5kg
電源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz
能耗: 150W （主機(jī)）
型號(hào)CV-3200S4 CV-3200H4 CV-3200W4 CV-3200S8 CV-3200H8 CV-3200W8CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8測(cè)量范圍X 軸100mm 200mmZ1 軸（檢測(cè)部） 60mm （水平位置±30mm）Z2 軸（立柱） 移動(dòng)量300mm 500mm 300mm 500mm檢測(cè)器（Z1 軸 : 檢測(cè)器）測(cè)量單元圓弧光柵尺分辨率 CV-3200 系列 : 0.04 μm、CV-4500 系列 : 0.02 μm測(cè)針上/ 下運(yùn)作弧形移動(dòng)移動(dòng)方向向前/ 向后 雙方向測(cè)針?lè)较駽V-3200 系列 : 向上/ 向下（單獨(dú)測(cè)量）、CV-4500 系列 : 向上/ 向下（上下可連續(xù)測(cè)量）測(cè)力CV-3200 系列 : 30mN （根據(jù)配重調(diào)整）、CV-4500 系列 : 10,20,30,40,50mN （根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換）跟蹤角度向上77o、向下83o（根據(jù)表面粗糙度*1 使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針）驅(qū)動(dòng)部標(biāo)尺X 軸 激光全息光柵尺Z2 軸（立柱） ABS 光柵尺分辨率X 軸 0.05 μmZ2 軸（立柱） 1 μm驅(qū)動(dòng)速度X 軸0 ～ 80mm/s 外加手動(dòng)Z2 軸（立柱） 0 ～ 30mm/s 外加手動(dòng)測(cè)量速度X 軸 0.02 ～ 5mm/s直線度*2 X 軸 0.8 μm/100mm 2 μm/200mm傾角范圍X 軸 ±45o指示精度（20oC）CV-3200系列X 軸 ±（0.8+0.01L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±（0.8+0.02L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸（檢測(cè)部） ±（1.6+ ?? 2H ?? /100）μm H= 為水平位置上的測(cè)量高度（mm）CV-4500系列X 軸 ±（0.8=0.01L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 1.8 μm/100mm窄范圍 : 1.05 μm/25mm ±（0.8=0.02L）μm L 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm）寬范圍 : 4.8 μm/200mm窄范圍 : 1.3 μm/25mm Z1 軸（檢測(cè)部） ±（0.8+ ?? 2H ?? /100）μm H= 為水平位置上的測(cè)量高度（mm）外觀尺寸（W×D×H）主機(jī)*3 756×482×966 mm756×482×1166 mm1156×482×1176 mm766×482×966 mm766×482×1166 mm1166×482×1176 mm遙控箱221×344×490 mm遙控箱 248×102×62.2 mm重量主機(jī)140kg 150kg 220kg 140kg 150kg 220kg遙控箱14kg遙控箱 0.9kg使用溫度范圍15 ～ 25oC （校正時(shí)和測(cè)量時(shí)的溫度變化在±1o）使用濕度范圍20 ～ 80%RH （無(wú)凝結(jié)狀態(tài)）保存溫度范圍-10 ～ 50oC保存濕度范圍5 ～ 90%RH （無(wú)凝結(jié)狀態(tài)）*1