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干燥箱/烘箱產(chǎn)品及廠家

真空干燥箱，高溫真空箱定做

真空干燥箱，高溫真空箱定做適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀器、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊、塑膠、機(jī)械、化工、食品、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。

更新時(shí)間:2025-12-04

該公司產(chǎn)品分類：上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司

晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，class 100的潔凈烘箱

更新時(shí)間:2025-12-04

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PI固化高溫烘箱，聚酰亞胺厭氧烤箱

pi固化高溫烘箱，聚酰亞胺厭氧烤箱用于半導(dǎo)體/三代半導(dǎo)體/新材料/新能源等行業(yè)。bcb、pi、cpi、pbo膠固化，lcp新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。

更新時(shí)間:2025-12-04

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HMDS真空烘箱

hmds預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

更新時(shí)間:2025-12-04

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固化烤箱，PI、BCB膠固化烤箱2023已更新(每日/實(shí)時(shí))

固化烤箱，pi、bcb膠固化烤箱用于pi、bcb膠高溫固化烘烤。整個(gè)箱體結(jié)構(gòu)分為：膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個(gè)部分，膛體腔，內(nèi)表面全鏡面設(shè)計(jì)，風(fēng)道由左、右、后導(dǎo)風(fēng)板與箱體內(nèi)壁組合而成，膛體頂部有排風(fēng)管道。

更新時(shí)間:2025-12-04

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無氧高溫烘箱，百級無氧烘箱

無氧高溫烘箱，百級無氧烘箱主要應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

更新時(shí)間:2025-12-04

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充氮PI烘箱，PI充氮烤箱2023動態(tài)已更新《新品/推薦》

充氮pi烘箱，pi充氮烤箱升溫速率可控，設(shè)定工藝曲線，一鍵運(yùn)行；輔助降溫縮短降溫時(shí)間，提高生產(chǎn)效率；可達(dá)到低氧環(huán)境，固化效果更佳。

更新時(shí)間:2025-12-04

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hmds熏蒸機(jī)，hmds熏蒸烤箱

hmds熏蒸機(jī)，hmds熏蒸烤箱通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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抗粘劑氣相成底膜烘箱，抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)

抗粘劑氣相成底膜烘箱，抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻（nil）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中hmds增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,led,mems,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

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百級烤箱，百級充氮烤箱

百級烤箱，百級充氮烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

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精密循環(huán)風(fēng)烤箱，精密高溫烘箱2023動態(tài)已更新《新品/推薦》

精密循環(huán)風(fēng)烤箱，精密高溫烘箱適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、ic、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗(yàn)。

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硅片充氮烘箱，可程式充氮烤箱

硅片充氮烘箱，半導(dǎo)體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進(jìn)行自動控制p.i.d調(diào)節(jié),數(shù)顯時(shí)間控制,并設(shè)有斷路及超溫報(bào)警,操作方便,使用安全。充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口

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抗粘劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)，抗粘劑氣相涂布機(jī)

抗粘劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)，抗粘劑氣相涂布機(jī)在納米壓印工藝中模具在進(jìn)行壓印要進(jìn)行預(yù)處理，當(dāng)模具壓印光刻膠后脫模時(shí)，有2種可能，一種是模具可完全脫離，壓印膠圖形完整保留;一種是模具和壓印膠粘在一起脫模過程中膠也被帶起來，使得壓印圖形無法保留，而這些粘在模具上的膠也會污染模具。因此模具在使用，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。

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非標(biāo)石膏模具烤箱，重型轉(zhuǎn)盤烤箱定做#2023價(jià)格已更新

非標(biāo)石膏模具烤箱，重型轉(zhuǎn)盤烤箱定做可滿足精鑄優(yōu)質(zhì)的鋅合金模具要求，廣泛應(yīng)用于汽車輪胎、航天等工業(yè)的高品質(zhì)鋁制品。我們的烘箱的產(chǎn)品，符合國際企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量和文檔記錄設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)。

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PI無氧烘箱工藝流程

pi無氧烘箱工藝流程用于半導(dǎo)體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。bcb、pi、pbo膠固化，lcp新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。

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潔凈充氮烘箱，無塵室充氮烤箱

潔凈充氮烘箱，無塵室充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口。

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高低溫沖擊烘箱、冷熱沖擊試驗(yàn)箱

高低溫沖擊烘箱、冷熱沖擊試驗(yàn)箱適用于電子、汽車配件、塑膠等行業(yè)，測試各種材料對高、低溫的反復(fù)沖擊能力。檢測產(chǎn)品于熱脹冷縮所產(chǎn)生的化學(xué)變化或物理傷害，確保產(chǎn)品品質(zhì)。

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馬弗爐，高溫電阻爐2023動態(tài)已更新《新品/推薦》

馬弗爐，高溫電阻爐是分析實(shí)驗(yàn)室樣品干法處理，冶金實(shí)驗(yàn)室做熔融實(shí)驗(yàn)，熱處理部門做退火、淬火等實(shí)驗(yàn)，以及其他需要高溫的場合需要的加熱輔助設(shè)備，應(yīng)用廣泛。一體型馬弗爐是新研制生產(chǎn)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品將爐體與控制部分做了整合，大的降低了所占空間面積。

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塑封固化用潔凈烘箱

塑封固化用潔凈烘箱采用自動加熱的方式對其進(jìn)行保溫固化，固化溫度維持在 175℃，固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。

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桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱#推薦@2023系統(tǒng)配置

js-hmds90烘箱采用真空蒸鍍的方法涂布hmds化合物。hmds烘箱在高溫條件下，達(dá)到真空狀態(tài)后開始涂布工藝，涂布完成后烘箱內(nèi)部充入n2，達(dá)到常壓后方可開門。

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芯片烘箱，芯片固化烤箱

芯片烘箱，芯片固化烤箱是指封裝環(huán)氧的固化，一般環(huán)氧固化條件在135℃，1小時(shí)。模壓封裝一般在150℃，4分鐘。后固化是為了讓環(huán)氧充分固化，同時(shí)對led進(jìn)行熱老化。后固化對于提高環(huán)氧與支架(pcb)的粘接強(qiáng)度非常重要，一般條件為120℃，4小時(shí)。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：芯片固化，led芯片燒結(jié)，ic包裝，lcd,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

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PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱

pi亞胺化厭氧爐，pi真空厭氧烤箱用于光刻膠bcb，聚酰亞胺pi/cpi固化，lcp纖維熱處理，晶圓干燥烘烤等工藝，主要用于集成電路、化合物半導(dǎo)體、mems微機(jī)電、tft/lcd等半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。

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芯片精密循環(huán)烤箱，可編程精密烘箱

芯片精密循環(huán)烤箱，可編程精密烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強(qiáng)度、保溫、循環(huán)風(fēng)道等均設(shè)計(jì)精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風(fēng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達(dá)±1.5％，當(dāng)門開、關(guān)動作引起擾動時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值

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2500小型干燥烘箱廠家，DHG9053小型鼓風(fēng)干燥箱

電熱干燥箱用于工礦企業(yè)，科研院校、大小醫(yī)院、醫(yī)藥衛(wèi)生等實(shí)驗(yàn)室對各種產(chǎn)品、試品進(jìn)行烘培、干燥、固化、熱處理及其它方面的加熱。本系列產(chǎn)品采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠，數(shù)字直接顯示出工作溫度，直觀易讀。

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高溫厭氧烘箱，厭氧固化烤箱

高溫厭氧烘箱，厭氧固化烤箱厭氧烤箱將封閉內(nèi)腔持續(xù)加熱到預(yù)設(shè)溫度后，進(jìn)入保溫加熱控制狀態(tài)，在保溫加熱控制狀態(tài)中采用間斷式加熱方式，使得封閉內(nèi)腔中的溫度能夠保持穩(wěn)定的溫度，電子元件在均勻的溫度下進(jìn)行固化，提高電子元件的質(zhì)量；也可以滿足大容量烤箱的生產(chǎn)要求，提高了生產(chǎn)效率。

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大型烘箱，定制大型烘箱#推薦@2023操作系統(tǒng)

大型烘箱應(yīng)用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業(yè)。變壓器鐵芯、線圈烘干,噴漆電柜和零件烘干,稀土烘干, 鑄造砂型烘干，電機(jī)烘干，汽車零部件回火，汽車座椅面料預(yù)熱，汽車輪胎模具高溫干燥，橡膠老化，石材烘烤，印刷干燥，油墨固化等。

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PI真空固化烤箱，水冷卻PI固化爐

pi真空固化烤箱，水冷卻pi固化爐用于光刻膠bcb，聚酰亞胺pi固化，晶圓干燥烘烤等工藝，主要用于集成電路、化合物半導(dǎo)體、mems微機(jī)電、tft/lcd等半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。

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箱式電阻爐，高溫馬弗爐#2023價(jià)格已更新

箱式電阻爐，高溫馬弗爐為周期作業(yè)式電爐，可供工礦企業(yè)、科研等單位實(shí)驗(yàn)室作化學(xué)分析、物理測定和一般小型鋼件熱處理時(shí)加熱之用。

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紫外固化烘箱真空紫外烘箱 UV固化真空烤箱

紫外固化烘箱真空紫外烘箱 uv固化真空烤箱主要應(yīng)用于uv膠水、uv 油墨、uv光油、uv 油漆、uv 涂料、薄膜等 uv 光感材料的固化，3d打印固化，新型材料改性、高分子化學(xué)、半導(dǎo)體材料光固化，以及高等院校和科研機(jī)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)室研究。

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高溫烘箱定做，非標(biāo)軌道烘箱

高溫烘箱定做，非標(biāo)軌道烘箱性能特點(diǎn):◆采用智能溫控儀表，操作方便；◆采用推車加導(dǎo)軌進(jìn)出方式，方便超重物品進(jìn)出烘箱；◆配有聲、光超溫報(bào)警及保護(hù)裝置；

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精密烘箱，300度精密烘箱

精密烘箱，300度精密烘箱具有安全性好，潔凈度高,節(jié)能效果優(yōu)，保溫性佳，溫度均勻性好。大多應(yīng)用于烘烤光學(xué)光纖,精密電子及醫(yī)藥器材等欲烘烤物品的烘干或溫升處理等。廣泛使用于pcb、電子、電機(jī)、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應(yīng)力、老化、烘干、定型、加工等.

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晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱

晶圓精密循環(huán)烤箱，硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴度烤箱，結(jié)構(gòu)、材質(zhì)強(qiáng)度、保溫、循環(huán)風(fēng)道等均設(shè)計(jì)精良，且外形美觀、操作方便。空氣循環(huán)系統(tǒng)為水平式循環(huán)送風(fēng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，如此可得到較佳的溫度均勻性，均勻度可達(dá)±1.5％，當(dāng)門開、關(guān)動作引起擾動時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值。

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無氧烘箱，無氧烤箱氧濃度儀

無氧烘箱，無氧烤箱氧濃度儀應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb、lcp固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、cob封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求

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無塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹脂（PI）無塵烤箱

為了獲得良好的聚酰亞胺性能，非常好的溫度均勻性，低氧含量和低顆粒數(shù)是非常重要的。無塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹脂（pi）烤箱腔內(nèi)的氣體保持相當(dāng)干凈（100級），良好的溫度均勻性。通過氮?dú)獯祾呖蓪⒀鯕夂拷档椭?0ppm以下。這保證了非光敏聚酰亞胺的優(yōu)異工藝結(jié)果。

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高溫?zé)o氧烘箱520L

高溫?zé)o氧烘箱520l用于精密電子元件、銀膠固化、pi/bcb/bpo膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、晶圓退火電子陶瓷材料防氧化烘干、測試的特殊工藝要求。

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恒溫恒濕箱

恒溫恒濕箱，控制器采用temi-300型溫濕度控制器是廣州慶瑞電子科技有限公司自行研制生產(chǎn)的新一代高科技產(chǎn)品;是國內(nèi)率先開發(fā)研制成功利用干濕球測量并控制溫度、濕度的控制器。它具有全自動節(jié)能控制空壓機(jī)、全自動pid自整定功能，主要用于恒溫恒濕試驗(yàn)設(shè)備配套使用。

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SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)

secs/gem通訊hmds鍍膜機(jī)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

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無氧化烤箱，高溫?zé)o氧固化爐

無氧化烤箱，高溫?zé)o氧固化爐利用充氮?dú)馓峁o氧化烘烤空間，確保產(chǎn)品不氧化。適用于ic封裝、晶圓烘烤、pi固化、bcb膠固化、ito模具退火、鍍膜制程等半導(dǎo)體行業(yè)，電子行業(yè)及各種產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。

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智能型無塵無氧烘箱，高溫?zé)o塵無氧化烘箱

智能型無塵無氧烘箱，高溫?zé)o塵無氧化烘箱又稱為pi固化烘箱，厭氧烘箱，高溫?zé)o氧烘箱，用于pi、bcb膠高溫固化、lcp熱處理烘烤、光刻膠固化等電子，半導(dǎo)體、新材料行業(yè)。

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無氧烘箱，20ppm無氧烘箱

無氧烘箱，20ppm無氧烘箱應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無氧）、潔凈環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、cob封裝、ic封裝、石英玻璃、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求.

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二極管潔凈烘箱，LED氮?dú)夂嫦?/a>

二極管潔凈烘箱，led氮?dú)夂嫦湓诠ぷ鲿r(shí)，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體co2,n2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：ic包裝，lcd,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

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非標(biāo)石膏模具烤箱，重型轉(zhuǎn)盤烤箱定做

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HMDS涂膠機(jī)，HMDS涂膠烤箱

hmds涂膠機(jī)，hmds涂膠烤箱處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。效率高,液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片。更加環(huán)保和安全，hmds是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個(gè)過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽

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充氮烤箱，氮?dú)飧稍锵?推薦@2023系統(tǒng)配置

充氮烤箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán)。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度采用智能式數(shù)顯溫度控制儀進(jìn)行自動控制p.i.d調(diào)節(jié),數(shù)顯時(shí)間控制,并設(shè)有斷路及超溫報(bào)警,操作方便,使用安全。充氮烤箱可滿足電子電器、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達(dá)350℃-400℃并且可加裝氮?dú)膺M(jìn)出口。

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HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱

hmds疏水烘箱，hmd真空烘箱是涂膠對硅片表面進(jìn)行處理，可以增加硅片表面水分子的接觸角，使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性

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真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱

真空無氧烘箱，無氧化真空烤箱將高純度氮?dú)獬淙肟鞠鋬?nèi)部，從而置換腔內(nèi)空氣降低氧濃度，來防止部分物料在高溫環(huán)境下加速氧化的現(xiàn)象。烤箱抽取真空后，充入氮?dú)猓俪槿≌婵眨啻窝h(huán)后可以確保烤箱的工作室處于無氧的狀態(tài)，避免活性較強(qiáng)的物料在高溫有氧的環(huán)境下被氧化而損壞。

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可編程LED專用烤箱，高溫LED光電烤箱

可編程led專用烤箱，高溫led光電烤箱廣泛用于點(diǎn)陣，數(shù)碼管，led發(fā)光二極管，smd，大功率，貼片等固化；led光電烤箱獨(dú)有的性質(zhì)配置單門或多門，使用上更節(jié)能，更人性化

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HDMS烘箱 HDMS真空烘箱智能型HDMS預(yù)處理烘箱

hdms烘箱 hdms真空烘箱智能型hdms預(yù)處理烘箱保護(hù)裝置：緊急停止，hmds藥液泄漏報(bào)&警提示，hmds低液位報(bào)&警，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)等

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增粘劑烤箱，HMDS烘箱

增粘劑烤箱，hmds烘箱將hmds涂到led、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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鈮酸鋰無氧化烘箱

鈮酸鋰無氧烘箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和mems器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺pi膠、cpi膠、bcb膠固化、低k電介質(zhì)固化，lcp材料熱處理、鍵合材料預(yù)處理，fowlp扇出封裝，ito膜/鋁/銅退火，pbo膠固化等特殊工藝。

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