外延系統(tǒng)產(chǎn)品及廠家
genxplor® r&d mbe系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的csindustry獎，采用veeco成熟的3英寸生長室設(shè)計，并具有無與倫比的工藝靈活性，非常適合uv led、高效太陽能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計將所有真空硬件與機載電子設(shè)備相結(jié)合，使其比其他 mbe 系統(tǒng)小 40%，從而節(jié)省寶貴的實驗室空間。
更新時間:2025-09-09
gen10™ mbe 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟、靈活的簇狀工具系統(tǒng)，允許多達三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高，允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進行生長和校準。這與 veeco 組件技術(shù)相結(jié)合，是 mbe 社區(qū)選擇 gen10™ mbe 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素，無論應(yīng)用是什么。
更新時間:2025-09-09
屢獲殊榮的新型 genxcel™ 系統(tǒng)是在 genxplor 的基礎(chǔ)上進行的擴展，genxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 mbe 系統(tǒng)，與 genxpl
更新時間:2025-09-09
veeco 的 gen20™ mbe 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計可針對 iii-v 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。
更新時間:2025-09-09
veeco 的 gen200® mbe 系統(tǒng)是當(dāng)市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) mbe 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、vcsel 和 hbt 等設(shè)備的生長中提供卓越的吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。
更新時間:2025-09-09
分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)mbe 8000旨在滿足對高性能化合物半導(dǎo)體器件日益增長的需求。這種在超高壓環(huán)境中使用超純金屬的 8×6ʺ 或 4×8ʺ 固源 mbe 系統(tǒng)在設(shè)計、溫度均勻性和通量均勻性方面超出了先進的基本預(yù)期。該系統(tǒng)能夠培養(yǎng) 8 個 150 毫米（6 英寸）晶圓或 4 個 200 毫米（8 英寸）晶圓的批次，這些晶圓具有顯著的均勻性（成分、厚度）和非常低的缺陷水平。
更新時間:2025-09-09
epiluvac 產(chǎn)品通常作為完整的系統(tǒng)交付，包括反應(yīng)器模塊、氣體輸送系統(tǒng)、過程控制、安全系統(tǒng)、安裝和調(diào)試。每個系統(tǒng)在發(fā)貨都經(jīng)過廣泛的測試，一旦安裝，交付還包括所有必要的客戶操作和維護培訓(xùn)。
更新時間:2025-09-09
超高真空激光分子束外延薄膜沉積系統(tǒng)由真空腔室（外延室、進樣室）、樣品傳遞機構(gòu)、樣品架、立式旋轉(zhuǎn)靶臺、基片加熱臺、抽氣系統(tǒng)、真空測量、工作氣路、電控系統(tǒng)、計算機控制等各部分組成。
更新時間:2025-09-09
自新千年到來之推出以來，compact 21 已成為有史以來成功的商用 3 英寸 mbe 系統(tǒng)。憑借核心 compact 21 dna 在所有配置（iii-v、ii-vi、gp iv、氧化物、金屬、gsmbe）中都很明顯，該多功能系統(tǒng)在從基礎(chǔ)研究到設(shè)備開發(fā)和優(yōu)化的每個研究域都得到了卓越的服務(wù)。它多可容納 12 個源端口，并且與電子槍兼容。這款整潔而強大的反應(yīng)器可提供手動或全自動
更新時間:2025-09-09
riber 的 mbe 412 正受到越來越多與工業(yè)合作伙伴合作開展應(yīng)用項目的關(guān)鍵研究機構(gòu)的關(guān)注。這種興趣的增加部分歸因于 4 英寸（或 3 x 2 英寸）容量在這種類型的戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系中受到青
更新時間:2025-09-09
riber mbe 49 系列全自動生產(chǎn)機器為材料質(zhì)量、產(chǎn)量、產(chǎn)量以及與操作和維護相關(guān)的成本設(shè)定了行業(yè)標準。超過55個這樣的系統(tǒng)已經(jīng)在全球范圍內(nèi)交付，他們?yōu)榭蛻魩淼某晒κ乖撓盗蟹磻?yīng)器獲得了廣泛持有和當(dāng)之無愧的聲譽，因為它使新的化合物半導(dǎo)體器件技術(shù)的商業(yè)化能夠在其他地方無與倫比的范圍和規(guī)模上實現(xiàn)商業(yè)化。mbe 49 系列有四個反應(yīng)器，門設(shè)計用于沉積砷化物、磷化物、氮化物和氧化物。
更新時間:2025-09-09
riber分子束外延（mbe）系統(tǒng)是一款在半導(dǎo)體及光電子域廣泛應(yīng)用的先進設(shè)備，以其高精度、高純度和低溫生長的特點而著稱。
更新時間:2025-09-09
esther/eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)，傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計可兼容多種工藝用途，友好的人機交互和安全性設(shè)計保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。
更新時間:2025-09-09
hesper ⅱ e630r plus 12英寸減壓選擇性外延系統(tǒng)，多區(qū)紅外加熱協(xié)同激光微區(qū)補償，溫場均勻可控。
更新時間:2025-09-09
hesper e230a 12英寸單片常壓硅外延系統(tǒng)，優(yōu)異的氣流場和加熱場設(shè)計提供優(yōu)良的工藝性能。
更新時間:2025-09-09
hesper i e430r 12英寸單片減壓硅外延系統(tǒng)，優(yōu)異的氣流場和加熱場設(shè)計提供優(yōu)良的工藝性能。
更新時間:2025-09-09
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