ø 移動范圍: x 軸驅(qū)動部: 100mm,電動立柱(垂直方向): 250mmø z 軸測量范圍:1000μm(粗糙度時)、50mm(輪廓度時)ø 直 線 度:粗糙度時(0.05+1.0l/1000)μm ,l:測量長度 (mm)輪廓度時1μm/100μmø 測量精度(輪廓): z 軸(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2h│/100)μm z 軸分辨率 0.1μm/50mm,x 軸(橫方指示精度±(1+2l/100)μm ,l=測量長度(mm),粗糙度精度:x 軸分辨率0.1μmø 粗糙度解
更新時間:2025-12-02