雙頻激光干涉儀ZLM700
產品功能 定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等，從而實現定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量，廣泛應用于高速動態加工工藝中的機械定位和系統控制。性能優勢
l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德國生產制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上一家將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l 測量系統采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。
l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩頻精度高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統精度更高，可達±0.4ppm。
l 計算機輔助光路調整，調整結果更。
l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l 被測物體最大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩定。
l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實現六軸聯動。
工作原理
專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量，不會出現干擾誤差，信號延時時間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上，避免了外部電磁環境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產環境、標準化實驗室和高真空環境。
技術參數
| 型號：ZLM700 | 使用高性能數據處理器AE950 PCI |
| He-Ne激光平均波長： | 632.8 nm |
| 激光穩頻精度： | 一小時2x10-9（±0.002ppm） 壽命內2x10-8（±0.02ppm） |
| 系統精度（0-40℃時）： | ±0.4ppm |
| 光束直徑： | 6mm （可選3.2mm） |
| 激光管突發最大輸出功率： | 1mW （激光等級2） |
| 每束光可測量的軸數： | 1 |
| 線性測量距離： | 40m，可擴展為120m |
| 角度測量范圍： | ± 15°，20m軸線范圍 |
| 平面度測量范圍： | 20m行程 |
| 直線度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測30m行程 |
| 垂直度測量范圍： | ± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 |
| 最大速度： | 4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度 |
| 最大加速： | 無限制 |
| 采樣頻率： | 內部1MHz，外部40MHz |
| 預熱時間： | 10分鐘 |
| 精度/非線性： | ±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡） |
| 距離測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 距離測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時 （20°±0.5°） 真空中時 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 線性度測量分辨率： | 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 |
| 線性度測量精度： （20°±0.5°） 使用AUK時 （20°±0.5°） 真空中時 | ±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m） |
| 速度測量精度： | ±0.5ppm實測值 |
| 角度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 角度測量精度： | ±0.1ppm實測值 |
| 平面度測量分辨率： | 0.015μrad （3x10-3 弧秒） |
| 平面度測量精度： | ±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離 |
| 直線度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 直線度測量精度： | ±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程 |
| 垂直度測量分辨率： | 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
| 垂直度測量精度： | ±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒* |
| 數據接口： | 積分信號 32 Bit （實時時間） Dt » 20 ns |
| 數據分析標準： | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
| 工作環境： | 溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝 |
| 儲存環境： | 溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 |
應用光路圖
以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉臺定位精度測量示意圖
資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf激光干涉儀說明書（中文）.pdf
Fabry-Perot太赫茲Fabry-Perot掃描干涉儀
高分辨測量可達至120MHz用戶可選的頻率范圍容易操作的軟件可按照客戶要求訂制 技術參數:測量頻率范圍1）：10~100 cm-1（30GHz~3THz）光譜自由程：0.8~20 cm-1分辨率2）：4 x 10-3 cm-1金屬柵格間隔距離：0~12 mm（或根據客戶要求選擇）間隔距離精度：+ / - 5 um光束高度： 100 mm有效通光孔徑： 20 mm（或根據客戶要求選擇）尺寸： 160 （L） x 120 （W） x 130 （H） mm3重量：2.5 kg 1： 用戶選擇范圍：10~30cm-1 或者 30~100cm-1
111光纖干涉儀
【激光系列產品】
固體激光器 半導體激光器 氣體激光器 離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計 激光護目鏡 激光波長測量 激光光束分析儀 多通道激光功率計 大功率激光器 激光光束位置測量儀 激光擴束鏡 激光準直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩定性激光器 相干型激光器 自相關儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測量 熱電制冷片 激光光束定位系統 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計
【光譜測試儀器】
紫外可見光譜儀 便攜式光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學型光譜儀 LED光測量光譜儀 色坐標色溫測量儀 燈具光譜測量儀 透射譜吸光度光譜儀 絕對輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測量儀 橢偏儀 太陽能電池IPCE測量系統 太陽能電池QE測量系統 太陽能電池光譜響應系統 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測量 信號發生器 近紅外谷物接收系統 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀
【光學精密機械】
干涉儀 光學平臺 光學鏡架 手動平移臺 手動旋轉臺 手動擺動臺 手動組合平臺 電動平移臺 電動轉動臺 電動擺動平臺 電動組合平臺 壓電陶瓷平臺 壓電陶瓷制動器 高穩定防震平臺
【光源】
氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素燈光源 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽模擬器 紫外固化機 寬帶超連續光源 顯微鏡光源
【光學影像】
紫外CCD相機 近紅外CCD相機 制冷型CCD相機 高速相機 顯微鏡 CID相機 紅外相機/熱像儀
【光學元件】
窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長板 擴散板 起偏器 光學鏡頭 光纖產品 光柵尺 光柵
【光通信儀器】
ASE光源 光纖放大器 光通信激光器 光功率計 可調諧激光光源 光纖測量系統 光衰減器 光纖熔接機 光通信探測器 光調制器 SLED光源 SLED模塊 光源 高功率EDFA 光收發機 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器
【生物分析儀器】
動物注射泵 樣品均質器 粘合劑分配器 蠕動泵
111斐索干涉儀
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【光學精密機械】
干涉儀 光學平臺 光學鏡架 手動平移臺 手動旋轉臺 手動擺動臺 手動組合平臺 電動平移臺 電動轉動臺 電動擺動平臺 電動組合平臺 壓電陶瓷平臺 壓電陶瓷制動器 高穩定防震平臺
【光源】
氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素燈光源 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽模擬器 紫外固化機 寬帶超連續光源 顯微鏡光源
【光學影像】
紫外CCD相機 近紅外CCD相機 制冷型CCD相機 高速相機 顯微鏡 CID相機 紅外相機/熱像儀
【探測器】
照度計 亮度計 輻射計 便攜式色差計 太陽光功率計 快速反應探測器 前置放大探測器 光纖耦合探測器 液氮制冷探測器 皮秒超快探測器 位敏探測器 四象限探測器 雙色探測器 紫外輻照計 硅光電探測器 近紅外探測器 中紅外探測器 雪崩二極管 光電倍增管
【光學元件】
窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長板 擴散板 起偏器 光學鏡頭 光纖產品 光柵尺 紅外鏡頭 光柵
【光通信儀器】
ASE光源 光纖放大器 光發射機 光通信激光器 光功率計 可調諧激光光源 光纖測量系統 光衰減器 光纖熔接機 光通信探測器 光調制器 傳感器解調儀 SLED光源 SLED模塊 光源 高功率EDFA 光收發機 激光發射機 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器
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該公司產品分類：
光學儀器
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